


Krytox电子半导体工业用高性能润滑剂,在电子和半导体制造领域,污染可能影响设备精度、操作再现性和设备的使用寿命。当用于真空泵和洁净室内时,高性能润滑剂有助于减少在制造电子及半导体的空间内产生的污染物和挥发性气体。从而提高产量,同时延长设备的使用寿命
Krytox电子半导体工业用高性能润滑剂,在电子和半导体制造领域,污染可能影响设备精度、操作再现性和设备的使用寿命。当用于真空泵和洁净室内时,高性能润滑剂有助于减少在制造电子及半导体的空间内产生的污染物和挥发性气体。从而提高产量,同时延长设备的使用寿命
Krytox™电子半导体工业用高性能润滑剂
在电子和半导体制造领域,污染可能影响设备精度、操作再现性和设备的使用寿命。当用于真空泵和洁净室内时,高性能润滑剂有助于减少在制造电子及半导体的空间内产生的污染物和挥发性气体。从而提高产量,同时延长设备的使用寿命。
多功能、耐高温、抗腐蚀润滑剂(润滑脂、润滑油和真空泵油)还可以用于各种生产线部件,其中包括:
轴承
阀门
密封件
O 圈
链条
压缩机
变速箱
机械泵及其他部件
Krytox™高性能润滑剂可以为电子和半导体工业设备零部件提供润滑保护。这是一类长效润滑油和润滑脂,通常用于油泵、干泵、真空系统、洁净室、机器人系统等。
洁净室用高稳定性润滑剂
Krytox™高性能润滑剂可以耐受极端温度和压力,可以为敏感的电子元器件提供更为稳定的工作环境。
由于活性化学品和物质本身就是半导体和电子元器件的安全隐患,因此,使用不能与这些半导体或电子元器件相容的润滑剂便会损坏组件。Krytox™高性能润滑剂具有化学惰性和生物惰性,因而可以与氧气相容,并且与化学品、塑料、金属和弹性体不会发生反应。
Krytox™高性能润滑剂润滑剂不仅能在严苛的工况下展现稳定和安全的性能,而且使用寿命更长,因此无需频繁地为部件补充润滑油。
高性能润滑剂还具有适用于电子和半导体行业的其他性能,其中包括:
出色的蒸气压,在-15℃ 至 300℃(5℉ 至 572℉)温度范围内,有着低至 10-13 mmHg 的蒸气压
不会与酸性或碱性清洁剂、消毒剂、蒸汽和水分发生反应,因而可以防止损坏组件
不含挥发性有机化合物 (VOC) 或氯
环境足迹小 — 润滑油可再生
与半导体工业中常用的化学品相容
产品资源
Krytox™ LVP(脂)和VPF润滑油
可应对极端工况的出色性能
Krytox™ 低蒸气压 (LVP) 和真空泵油 (VPF) 润滑油(脂)在以下环境中提供出色的性能:
低压
极端高或极端低温
接触恶劣化学物质或气体
Krytox™ LVP(低蒸气压)润滑脂
在竞争产品力所不能及之处发挥作用的润滑油(脂)
这些特性使 Krytox™ LVP 润滑脂能够在无法使用烃基润滑脂、硅基润滑脂和氯氟烃基润滑脂的环境下大显身手。含氟润滑脂可在 -15℃ 至 300℃(5℉ 至 572℉)温度范围、20℃ (68℉) 下 -1.0 x 10-13 torr 的低蒸气压以及恶劣的化学环境下工作。
Krytox™ LVP高真空润滑脂
工作锥入度(25℃ [77℉]),mm/10 | 280 |
NLGI 等级 | 2 |
蒸气压,20℃ (68℉) ,torr | <1.0 x 10-13 |
蒸气压,200℃ (392℉),torr | <1.0 x 10-5 |
蒸气压,20℃ (68℉) ,kPa | <1.3 x 10-14 |
蒸气压,200℃ (392℉) ,kPa | <1.3 x 10-6 |
分油率,30 小时,204℃ [400℉],wt% | 13.8 |
挥发损失,22 小时,204℃ [400℉],wt% | 0.3 |
密度,25℃ [77℉],g/mL | 1.94 |
Krytox™ VPF (真空泵油)
Krytox™ VPF 可在传统真空泵油会导致安全、废弃物处置和维护问题的领域大显身手。
Krytox™ VPF 的稳定性相当高,有助于减少与废弃物和维护相关的问题。其不燃,可以降低泵内起火的风险。
此外,Krytox™ VPF 不含缩醛基团,因此不易被半导体制程中的关键元素 — 路易斯酸影响。
Krytox™ VPF 润滑油配制了多种等级,可应对各种严苛工况。关键属性见下表。
Krytox™ 真空泵润滑油
20 oC (68 oF) 时的粘度 | 100 oC (212 oF) 时的粘度 | 20 oC (68 oF) 时的蒸气压 | |
Krytox™ VPF 1506 润滑油 | 60 | 4.1 | 4 x 10-7 |
Krytox™ VPF 1514 润滑油 | 140 | 7.2 | 2 x 10-7 |
Krytox™ VPF 1525 润滑油 | 250 | 10.6 | 1 x 10-7 |
Krytox™ VPF 16256 润滑油 | 2560 | 64.6 | 3 x 10-14 |
渠道说明
顺益体系(集团)是科慕Krytox™多年的良好战略合作伙伴,曾多次获得Krytox™优秀经销商奖,为双方的合作奠定了牢固的基础。2022年和2025年顺益连续4年被授予科慕Krytox™“核心授权经销商”,这标志着顺益与科慕Krytox™未来将会更紧密的合作。

Chemours™及相关标志是科慕公司的商标。Krytox™是The Chemours Company FC, LLC的商标。